小型真空泵指的就是微型真空泵，因為體積小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具備一進一出的抽氣嘴、排氣嘴各一個，并且在進口處能夠持續形成真空或負壓；排氣嘴處形成微正壓；工作介質主要為氣體，體積小巧的一種儀器。

由于旋片式真空泵的抽氣過程是一緊縮進程，故當有水蒸氣之類的可凝性氣體時，假如在排出泵腔前到達其飽和蒸汽壓力，則會凝結在真空油中，使泵內的真空油乳化蛻變，光滑密封功能變壞，凝結物在吸氣腔中還會重新變成氣態，使真空度降低。據引見，當含水超越50%時，還會毀壞光滑功能，形成頻繁換油和糜費。所以在抽的氣含有水時我們應選擇水環直空泵或在抽氣前先過濾水份。但它不適于抽除含氧過高的，對金屬有腐蝕性的、對泵油會起化學反應以及含有顆粒塵埃的氣體。

旋片式真空泵漏油，可以發生在軸封，油箱與泵零部件的密封面，放油塞、油標、油孔悶頭，定子部件與支座的通孔銜接處，氣鎮閥等部位。可由密封件老化，裝置不當，運行時間久損壞，外表不平整，有雜質，粗糙和鑄件疏松等引起。假如停泵后返油，油會進入氣鎮閥，不關氣鎮閥可能會漏油。發生這些現象時可遂一檢查這些部位，如有損壞的更換即可。4、統一的耐腐蝕設計，青銅葉輪提高了泵的耐腐蝕性，不銹鋼材質則更適用于更為苛刻的應用環境。

由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對泵有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；在這樣的情況下，循環水真空泵經銷商更加應該嚴于自律，保證產品質量和品質。有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。