真空泵安裝

⑴真空泵應(yīng)安裝在地面結(jié)實(shí)堅(jiān)固的場(chǎng)所，周圍應(yīng)留有充分的余地，便于檢查、維護(hù)、保養(yǎng)。

⑵真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝，確保真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，振動(dòng)小。

⑶真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對(duì)小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對(duì)小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少?gòu)濐^。（焊接管路時(shí)應(yīng)清除管道中焊渣，嚴(yán)禁焊渣進(jìn)入真空泵腔。）

真空泵干泵

國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。

真空泵開機(jī)前應(yīng)做好哪些準(zhǔn)備？

1.清理雜物。

首先要清除真空泵中的塵土，其次是管子中的塵土雜物，尤其是焊接殘?jiān)ＷC清潔，防止進(jìn)入泵中造成堵塞卡死。

2.檢查真空泵各個(gè)部件是否齊全。

檢查吸氣口和排氣口是否正確上緊，所有管路是否安裝無(wú)誤，同時(shí)檢查冷卻水管是否正常。

3.保證齒輪箱潤(rùn)滑油在標(biāo)準(zhǔn)油位。

在不同油位視鏡處檢查油位，確認(rèn)油位在油位視鏡中線偏上約3mm處，螺桿真空泵的齒輪箱中油過少容易導(dǎo)致齒輪、軸承潤(rùn)滑不足、咬死；過多則容易引起潤(rùn)滑油溫度過度升高，導(dǎo)致齒輪噪音或?qū)ζ渌考挠绊憽Ｒ虼耍枰⒁鈱⒂臀婚L(zhǎng)期保持在合理范圍內(nèi)。

4.注意冷卻水量是否按要求配置。

螺桿真空泵通過水冷夾套對(duì)泵體進(jìn)行冷卻，各個(gè)型號(hào)的冷卻水量也有所不同，實(shí)際開機(jī)前要根據(jù)對(duì)應(yīng)型號(hào)要求以及環(huán)境情況，保證冷卻水量是否滿足配置需要。

5.檢查確認(rèn)真空機(jī)組各個(gè)閥門的狀態(tài)。

工藝入口閥關(guān)閉、入口過濾器排污閥關(guān)閉、出口管線暢通，出口管排污閥打開、冷卻水入口管線和出口管線閥門打開、氮?dú)饩€閥門打開，吹掃氣壓力為0.5bar，氮封氣壓力為3bar，吹掃閥關(guān)閉。