數(shù)據(jù)處理

CD測量數(shù)據(jù)。一般CD Uniformity測試數(shù)據(jù)是一個(gè)矩陣。測量點(diǎn)數(shù)有7×7.9x9.11×11或13×13.CD測量數(shù)據(jù)一般分 方向和Y方向的數(shù)據(jù)。由于曝光機(jī)的特性，通常Y方向的CD精度高于 方向的精度。所以在做顯影機(jī)！性能指標(biāo)分析時(shí)，采用Y方向的CD值分析。數(shù)據(jù)分析軟件。該軟件是一個(gè)Excel文檔，通過執(zhí)行文檔中的宏命令對(duì)CD數(shù)據(jù)矩陣分析，分離出各種因素對(duì)CD均勻性的影響。通常CD均勻性可分解成徑向誤差，側(cè)向誤差和隨機(jī)誤差。顯影技術(shù)基本知識(shí)顯影技術(shù)：感光片經(jīng)過曝光后，在乳劑膜的感光層上，是看不到有任何可以覺察得到的變化。由于我們的顯影設(shè)備是旋轉(zhuǎn)式噴淋，所以我們需分離出徑向誤差加以分析，通過一定補(bǔ)償方法提高CD均勻性指標(biāo)。

感光材料中未見光部分，在顯影后往往也會(huì)出現(xiàn)一定程度的致黑現(xiàn)象，這就是灰霧。使用抑制劑的主要目的是抑制灰霧的產(chǎn)生。顯影液中常加入化鉀作為，又稱防灰霧劑。灰霧形成的原因很多，有些是在乳劑制備過程中產(chǎn)生的，也有些是因包裝或應(yīng)用過程中意外露光而產(chǎn)生的。不同的物質(zhì)通過對(duì)不同波長紫外光的吸收，分子會(huì)發(fā)生能級(jí)躍遷，從基態(tài)躍遷至激發(fā)態(tài)，改變物質(zhì)化學(xué)性能。

化鉀能抑制灰霧的原因主要有兩個(gè)方面：

化鉀在溶液中電離：

根據(jù)“膠粒總是選擇吸附與其組成相類似離子”的原則，離子比顯影劑負(fù)離子優(yōu)先吸附在化銀晶體表面，形成一個(gè)起障礙作用的負(fù)電層，這就阻止了帶負(fù)電荷的顯影劑離子接近鹵化銀的表面，從而防止了未曝光的鹵化銀

定影劑

定影劑是指能夠與乳劑層中的鹵化銀反應(yīng)，生成易溶于水的穩(wěn)定絡(luò)合物的物質(zhì)。定影主要是由定影液中的定影劑完成的，定影劑必須具備如下條件：能與鹵化銀中的某一種離子生成穩(wěn)定的化合物，這種化合物易溶于水，能迅速地從乳劑層中溶到水中，而且在水中的電離程度比鹵化銀離解程度要小。理想的定影劑只能溶解鹵化銀，對(duì)金屬銀應(yīng)該沒有溶解作用。例如Na,SO，和SnCl，等化學(xué)上都是很好的還原劑，可是由于亞硫酸鈉還原鹵化銀的速度太慢。