右側部分為氣路原理

用戶可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成，并可通過手動方式，控制內部截止閥（V1-V6的開關）

INLET1 - 設備所用背景氣，一般為空氣或氮氣。

INLET2 – 原料氣，用戶可通過列表選擇多種氣體種類。

初級儲氣罐 - 用于二次配氣時儲存初級配比出的一定濃度氣體，系統自動維持壓力在0.5MPa以下，在使用二級配氣條件下，初級儲氣罐自動維持壓力在0.45-0.5MPa上下，用以滿足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。

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北京標準氣配氣儀配氣裝置

標準氣體動態配氣裝置是根據各種揮發性、腐蝕性、吸附性氣體滲透管或擴散管的使用要求而專門設計的，同時增加了甲醛催化裂解裝置，兩者配套使用可連續提供甲醛標準混合氣體。配氣儀介紹目前市面上多見的有兩種原理的配氣儀，一種是三通電磁閥原理，另一種是質量流量計原理。該裝置溫度控制精度高、氣體流量穩定、結構緊湊、使用方便。裝置帶有過溫保護功能可在無人照看下長時間安全連續運轉。產品性能穩定可靠，是環境保護、儀器生產、石油、化工、冶金、科研等部門制備標準混合氣體的理想設備。本產品由物質研究中心按照ISO6145標準進行嚴格測試，各項指標均達到ISO6145設計要求，可以作為、二氧化氮、甲醛等標準氣體動態配氣裝置。

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動態稀釋儀

動態稀釋儀由流量控制系統、氣路控制系統和計算機控制系統組成，可將一瓶已知濃度的標氣用稀釋氣稀釋成不同含量的標準氣體濃度梯度。該過程完全自動化操作，大幅度減少工作量并節約配氣時間。

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