真空設(shè)備檢漏
氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說是一個(gè)檢氦儀，通過檢測(cè)氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。
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并預(yù)先根據(jù)環(huán)境中氦的含量對(duì)檢漏儀進(jìn)行標(biāo)定。若需在抽真空方式下準(zhǔn)確地找到漏孔的
位置，可以通過對(duì)可yi位置噴氦并檢驗(yàn)漏率是否有明顯的上升來完成。
與抽真空方式相反，嗅探方式是通過測(cè)量待測(cè)器件內(nèi)部氣體經(jīng)由器壁漏孔泄漏至器件外面的氦的多少來獲得漏率的大小的。預(yù)先向待測(cè)器件內(nèi)充入一定氦氣，
封閉測(cè)試端口，將嗅探探頭連接至檢漏儀，用嗅探探頭對(duì)待測(cè)器件表面的可yi部位進(jìn)行掃描。如果發(fā)現(xiàn)漏率明顯的上升，便可判斷漏孔的位置。這種方式適合在待測(cè)器件內(nèi)部無法或者不能抽真空的情形下檢漏。但是，由于嗅探方式是通過檢測(cè)器壁外的大氣來進(jìn)行測(cè)量的，大氣中的氦會(huì)帶來一個(gè)較高的漏率本底。這個(gè)本底雖可通過置零來清除，但仍會(huì)降低嗅探方式的靈敏度（嗅探方式xiao可檢測(cè)漏率小于5×10－6Pa·L/s，而抽真空方式的小于5×10－10Pa·L/s）。氫氣檢漏法的基本原理氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮?dú)獾幕旌蠚庾鳛槭聚櫄怏w進(jìn)行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。
氫氣檢漏設(shè)備
在各種檢漏應(yīng)用場(chǎng)合中，氫氣檢漏法的出現(xiàn)為您帶來了更大的性能和效率的改善提高機(jī)會(huì)。氫氮混和氣檢漏法已在國內(nèi)外廣泛應(yīng)用于制冷、空調(diào)、汽車零部件、發(fā)動(dòng)機(jī)、變速箱、減速機(jī)、閥門、藥品包裝、飛機(jī)油箱油路及其他密封件或管路檢漏。氫氣檢漏法檢測(cè)靈敏度高、節(jié)約成本、操作簡(jiǎn)便，將是以后檢漏技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。一旦出現(xiàn)信號(hào)響應(yīng)，說明有氫氣通過漏孔進(jìn)入被檢件中，從而指示漏孔的位置與大小。