氦檢漏系統主要用于檢測工業設備中的微量泄漏。它采用高純度惰性氣體——氦氣作為示蹤介質，通過測量其壓力變化來評估設備的密封性能。該系統的應用范圍廣泛，包括但不限于：*航空航天、領域的關鍵部件或精密儀器；*壓力容器和管道的在線監測與維護保養等；*在汽車制造行業中用于檢查發動機燃油系統和剎車管路的泄露情況以及在空調制冷系統中查驗是否存在微小滲漏。

氦質譜檢漏系統是一種高靈敏度的泄漏檢測設備，主要用于真空系統中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機、進氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。該系統的功能是利用高速流動的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區域與外部環境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，從而產生聲學信號或者叫作粒子束，通過測量這個聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術對各種材料均不敏感而且對于很小的體積也可以進行準確的測定，因此廣泛應用于半導體工業中硅片芯片封裝環境的監測以防止晶圓損傷；也應用于大規模集成電路生產線上檢查每個密封件是否有缺陷。

真空箱氦檢漏系統主要用于檢測電子元器件、設備或產品在運行過程中是否出現泄漏現象。這種技術廣泛應用于航空航天、汽車制造和電子產品等領域，以確保產品的安全性和可靠性符合相關標準要求。通過將待測物品放入真空氣氛的密封容器中并施加一定的壓力差（通常為10-3～5×10^-2Pa），使樣品內部產生氣體流動導致氣密性差異；然后使用高靈敏度的激光雷達對容器的內腔進行掃描以測量任何形式的物質遷移。利用接收到的信號可以計算出泄露物的密度和質量流量以及聲速等重要參數。根據這些數據，用戶可以進行產品質量控制和分析維修等工作，或者找出造成事故的原因及過程，從而及時采取措施避免發生災難性的后果。