5分鐘前 黑龍江粗糙度檢測(cè)價(jià)格值得信賴(lài)「蘇州特斯特」[蘇州特斯特31ff5f9]內(nèi)容:超聲波掃描顯微鏡有兩種工作模式:基于超聲波脈沖反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式,它的特點(diǎn)是分辨率高,對(duì)待測(cè)樣品厚度的沒(méi)有限制。透射模式只在半導(dǎo)體企業(yè)中用作器件篩選。該系統(tǒng)的就是帶壓電陶瓷的微波鏈,壓電陶瓷在射頻信號(hào)發(fā)生的激勵(lì)下,產(chǎn)生短的聲脈沖,隨后這些聲脈沖被聲透鏡聚焦在一起,超聲波掃描顯微鏡的這 個(gè)帶壓電陶瓷的部件叫換能器,英文是:Transducer。換能器既能把電信號(hào)轉(zhuǎn)換成聲波信號(hào),又能把從待測(cè)樣品反射或透射回來(lái)的聲波信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信 號(hào),送回系統(tǒng)進(jìn)行處理。

超聲波顯微鏡在失效分析中的應(yīng)用
晶圓面處分層缺陷 錫球、晶圓、或填膠中的開(kāi)裂晶圓的傾斜各種可能之孔洞(晶圓接合面、錫球、填膠…等)。超聲波顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢(shì)非破壞性、無(wú)損檢測(cè)材料或IC芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu) 可分層掃描、多層掃描 實(shí)施、直觀的圖像及分析 缺陷的測(cè)量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計(jì) 可顯示材料內(nèi)部的三維圖像 對(duì)人體是沒(méi)有傷害的 可檢測(cè)各種缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等)

EMMI可廣泛應(yīng)用于偵測(cè)各種組件缺陷所產(chǎn)生的漏電流,包括閘極氧化層缺陷(Gate oxide defects)、靜電放電破壞(ESD Failure)、閂鎖效應(yīng)(Latch Up)、漏電(Leakage)、接面漏電(Junction Leakage) 、順向偏壓(Forward Bias)及在飽和區(qū)域操作的晶體管,可藉由EMMI定位,找熱點(diǎn)(Hot Spot 或找亮點(diǎn))位置,進(jìn)而得知缺陷原因,幫助后續(xù)進(jìn)一步的失效分析。
