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在實際施工中,凈化項目通常分為,分工和分時。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是,易于進行多塵和無塵的交叉操作,應盡可能避免這種結構布置。 如果不可避免,應該防止灰塵和有效清潔。潔凈室應使用不產塵、不積塵、耐腐蝕、防潮防霉和容易清潔并具有防火功能的材料,不能使用木材和石膏板作表面裝飾材料??照{保溫材料也必須符合國家有關規定達到耐腐蝕、不產塵、不附著灰塵和防火等要求。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。
排風系統有一般排風系統、有機氣體排風系統、酸性氣體排風系統、堿性氣體排風系統等,凈化車間設計時,要根據實際情況選擇。潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。
具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細,所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規模集成電路生產的光刻工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。在實際施工中,凈化項目通常分為,分工和分時。 這種安排有利于各種和工作類型的管理。 但是,易于進行多塵和無塵的交叉操作,應盡可能避免這種結構布置。 如果不可避免,應該防止灰塵和有效清潔。凈化工程技術的興起不過是上個世紀的事情,但今天凈化技術發揮著重要作用則是有目共睹的。隨著產品向著方向發展,對凈化車間的依賴度也越來越高。